差距進(jìn)一步擴(kuò)大?ASML第三代EUV光刻機(jī)交付,用于2nm芯片報(bào)價(jià)約13億元
Viking / 2024-03-19 11:3349545ASML近日在社交平臺(tái)發(fā)文稱:芯片制造商需要速度,第一臺(tái)TWINSCAN NXE:3800E現(xiàn)已安裝在一家芯片工廠中。

據(jù)了解,TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代標(biāo)準(zhǔn)EUV光刻機(jī),其配備了0.33數(shù)值孔徑透鏡,相較于此前發(fā)布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了進(jìn)一步提升,能夠支持未來(lái)幾年芯片行業(yè)3nm以及2nm制程芯片的生產(chǎn)制造。
在性能方面,TWINSCAN NXE:3800E在晶圓處理速度與對(duì)準(zhǔn)精度方面有了更出色的表現(xiàn),它可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)處理195片晶圓的速度,相較于3600D每小時(shí)約160片的速度大約提升了22%,而且未來(lái)還有可能提升到每小時(shí)處理220片晶圓的速度。此外它還提供了小于1.1nm的晶圓對(duì)準(zhǔn)精度。

TWINSCAN NXE:3800E精度與速度上的提升,讓芯片制造廠商在生產(chǎn)2nm制程芯片以及后續(xù)需要雙重曝光的制造技術(shù)時(shí)有很好的效果。不過即使是用于4nm或者5nm的制程芯片,TWINSCAN NXE:3800E也能夠提升效率,讓芯片的生產(chǎn)更高效,從而降低成本。
當(dāng)然,這樣一套目前行業(yè)領(lǐng)先的EUV光刻機(jī)自然價(jià)格也是不便宜,據(jù)了解TWINSCAN NXE:3800E每套報(bào)價(jià)為1.8億美元,換算成人民幣約為13億元。不過相較于前段時(shí)間ASML賣給英特爾的High-NA EUV光刻機(jī)TWINSCAN EXE:5200(報(bào)價(jià)為3.8億美元),也算是比較有性價(jià)比了。

雖然ASML官方并沒有透露首臺(tái)TWINSCAN NXE:3800E具體交付給了哪家廠商,但有評(píng)論指出是英特爾。在ASML的助力下,美國(guó)芯片企業(yè)發(fā)展順風(fēng)順?biāo)谂_與其它國(guó)家的差距。
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