ASML發布最新一代3600D EUV光刻機:效率提升18%
白貓 / 2020-10-15 09:3265730作為芯片制造的核心設備,光刻機是集成了全人類科技的結晶,光刻機的性能決定了芯片的好壞,而目前ASML應該是光刻機制造領域的第一霸主,在最新的財報會議上,ASML公布了新一代的光刻機,和目前的光刻機相比,新一代光刻機在制造效率上有著比較大的提升,可以讓晶圓制造更加迅速。

目前ASML最強的光刻機,TWINSCAN NXE:3600D在這一次的財報會議上正式公布了參數和規格。ASML表示3600D光刻機可以每小時曝光160塊晶圓,和上代相比曝光率提升了18%,而且相對應的匹配精度也提升至1.1nm。而目前性能最出色的3400B的精度為2nm,每小時曝光125塊晶圓。當然ASML也表示目前的3400B也可以提供軟件更新,從而提升光刻機的性能。此外除了EUV光刻機之外,ASML也推出了新一代的DUV光刻機,為TWINSCAN NXT:2050i,將于第四季度正式出貨。
至于價格的話,官方沒有公布3600D的價格,不過預計一臺光刻機的售價在1.2億美元以上,并且在2021年中旬開始交付。
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