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對(duì)于國(guó)產(chǎn)芯來(lái)說(shuō)，“制程”二字是始終無(wú)法忽視的門檻，因此關(guān)鍵的光刻機(jī)設(shè)備就顯得至關(guān)重要。而ASML這家高端光刻機(jī)領(lǐng)域的巨頭也收獲了國(guó)人數(shù)不盡的關(guān)注。

近日，ASML中國(guó)區(qū)總裁沈波在中國(guó)集成電路制造年會(huì)上的一些言論，讓我們看到了最先進(jìn)光刻機(jī)入華的曙光。

沈波稱，今年下半年ASML已經(jīng)開始出貨最先進(jìn)的傳統(tǒng)沉浸式光刻機(jī)NXT:2000i，而該設(shè)備也很快會(huì)在中國(guó)市場(chǎng)上見到。

此前有媒體消息稱，中芯國(guó)際已經(jīng)向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，用于目前最先進(jìn)的7nm制程研發(fā)，預(yù)計(jì)將于2019年交付。而長(zhǎng)江存儲(chǔ)與上海華虹半導(dǎo)體也分別向ASML訂購(gòu)了193nm沉浸式光刻機(jī)NXT:1980Di，用于存儲(chǔ)芯片和晶圓的制造。

7nm制程的研發(fā)無(wú)疑是困難的，如聯(lián)電和格羅方德已經(jīng)宣布放棄7nm及更高制程工藝的研發(fā)，但ASML依然看好EUV光刻機(jī)的前景——他們計(jì)劃在明后兩年將EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能由目前的20臺(tái)提升至40臺(tái)。

或許是大陸市場(chǎng)目前與美國(guó)持平、已經(jīng)超過(guò)臺(tái)灣地區(qū)，高達(dá)20%占比的銷售收入給了ASML這樣的信心，也或許是中國(guó)對(duì)于追趕制程工藝的決心。目前業(yè)界對(duì)于7nm以上的制程工藝研發(fā)可以概括為“沒(méi)有思路”，幾近停滯的現(xiàn)狀也給了中國(guó)追趕的契機(jī)。

無(wú)論如何，如果ASML最先進(jìn)的光刻機(jī)能夠入華，將無(wú)疑是中國(guó)芯的曙光。